阴（yīn）极发光是一种光（guāng）谱分析方法，通过电子（zǐ）束轰击材料产（chǎn）生发光（guāng）后，用来在局部范围内鉴别材料（liào）中的（de）点缺陷和杂质缺（quē）陷，应用于微电（diàn）子，半（bàn）导体材料，绝缘体，地质学和矿物学等领域。